手持式LIBS激光誘導光譜儀利用高能量聚焦脈沖激光光束激發(fā)樣品表面,對產(chǎn)生的原子光譜進(jìn)行分析得到對應元素成分及含量。
自從1960年第一臺紅寶石激光器的發(fā)明為原子光譜分析注入新鮮血液之后,類(lèi)似于火花源的激光光束聚焦擊穿現象即見(jiàn)諸文獻報道。1962年?Jarrell-Ash的Brech發(fā)表第一篇關(guān)于用激光產(chǎn)生等離子體進(jìn)行分析的文章,標志著(zhù)激光燒蝕分析技術(shù)的誕生。1964年,得益于激光器Q開(kāi)關(guān)脈沖技術(shù),使得激光燒蝕無(wú)需通過(guò)輔助電極放電,直接通過(guò)激光產(chǎn)生等離子體進(jìn)行分析,這也是今天LIBS的雛形。至20世紀80年代,美國Los Alamos實(shí)驗室利用激光等離子體的光譜信息實(shí)現了對于物質(zhì)元素信息的測量,從而將該技術(shù)正式命名為L(cháng)IBS (Laser Induced Breakdown Spectroscopy)。